Студија случаја: Пробој у обради подлоге од кварцног стакла
Предмет обраде: подлога од кварцног стакла за фотолитографију
Спецификације:
Материјал: 99,99% кварцног стакла-високе чистоће
Карактеристике обраде: двострано-кошење Ц0.2 + вертикални бочни зид
Захтеви за површину: Ра < 150нм (огледало)
Димензије: 145×145×5,5 мм±0,01 мм
Анализа индустријске обраде болних тачака
Као основни потрошни материјал опреме за производњу полупроводника, кварцни делови за фотолитографију морају истовремено да испуне три строга стандарда: пропусност материјала > 99,6%, толеранција димензија ±10 μм и храпавост бочног зида Ра < 150 нм. Традиционална метода обраде користи процес брушења точака, који има два главна проблема у индустрији:
Уско грло ефикасности:-обрада једног комада траје до 120 минута
Површински дефекти: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560нм
Губитак алата: животни век обичног алата је мањи од 50 комада
БИСХЕНрешења технолошке иновације
С обзиром на чврсте и крте карактеристике кварцних материјала, композитрешење за обрадусе усваја:
• 20кХз ултразвучни систем прецизног гравирања и глодања
• Интегрисани ПЦД микро{0}}глодач (ивица Р0,05 мм)
• Аксијално слојевито сечење (2μм по слоју)
Поређење измерених предности обраде
Кроз верификацију и поређење процеса, кључни индикатори су значајно побољшани:
Вредност примене у индустрији
Ово решење је успешно решило проблем "уског грла" обраде у процесу локализације делова машина за литографију, повећавајући капацитет производње кварцне подлоге са 10 комада дневно на 50 комада, а степен квалификованости обраде са 63% на 98,5%. Према детекцији Зеисс ласерског интерферометра, ПВ вредност тачности површине обраде је<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
АбоутБИСХЕН
Бисхен Прецисионспецијализована је за прецизну обраду хардверских делова, са 7.500 квадратних метара стандардизованих радионица, а услуге покривају ваздухопловство, медицинску опрему, индустријске роботе и друге области. Са могућношћу обраде сложених структурних делова и сертификацијом ИСО система, клијентима пружа потпуна-процесна решења од дизајна и развоја до масовне производње.
