У области производње чипова, квалитет обраде једноструких кристалних силицијума прстенова као основне дела директно утиче на перформансе полуводичких уређаја. Група Д360ММ једнокрилално силицијумско прстенове које је недавно суочила са три главна проблема под традиционалним процесом брушења: ниска ефикасност, много површинских оштећења, и лако пуцање танких зидова због своје сложене структуре (укључујући функције унутрашњег круга, а).
Обрада позадине и болне боли у индустрији
Једнокрилно кристално силиконски прстенови морају проћи кроз више процеса као што су груб и завршавање, а њихова танка конструкција (дебљина је само 1,2 мм) захтева изузетно високу стабилност прераде. Традиционални процес користи брушење точкова за брушење, али постоје очигледни недостаци:
Ниска ефикасност:Једноделна обрада траје до 408 секунди, што је тешко подударати услове масовне производње;
Лош квалитет површине: Грубост након брушења је само РА 0. 30μм, а потребно је додатно полирање;
Озбиљни губитак приноса: Стопа за сечење у танкој зидиној површини прелази 15%, а трошак губитка материјала је висок.
Бисхен решења: ултразвучна прецизна и глодалица за гравирање и глодање се спроводи
С обзиром на карактеристике монокристалног силицијума, бисхен технички тим предложио је иновативно решење процеса:
Ултразвучни прецизни гравирање и глодање: Смањите отпорност на резање кроз високофреквентне алате за вибрацију да бисте избегли концентрисане силе на танким зидним структурама;
ДДР вертикална грамота велике брзине: Са управљачком управљачком спором са више оси, реализујте једнократно формирање обриса и смањите поновљене стезање;
Прилагођени параметри сечења: Оптимизирајте стопу хране и дубину сечења за ломље и тврде карактеристике монокристалног силицијума.
Пробаване ефикасности преради кроз индустријске мерило
Стварни подаци о производњи показују да је ново раствор постигло три главна побољшања:
Ефикасност се повећала за 67%: Време за прераду једноделне прераде скраћено је од 408 секунди до 136 секунди;
Храпавост површине смањена за 80%: Досезање РА 0. 06 уМ, испуњавање услова директне монтаже;
Стопа квара приступа нули: Ултразвучна технологија ефективно сузбија микро пукотине и повећава употребу материјала за 20%.
О бисхену
БисхенФокусира се на истраживање и развој технологије и интеграцију опреме у области машинске обраде високог прецизности и посвећен је пружању прилагођених решења за индустрију полуводича, оптичке и медицинске индустрије. Тим компаније је дубоко ангажован у технологији прераде суперхарде и сервирао је више од 100 производних предузећа широм света. Његове основне технологије укључују ултразвучну обраду, повезане и интелигентне системе за оптимизацију и интелигентне процесе.
