У области производње полупроводника треће{0}}генерације, носачи и стезне главе од силицијум карбида постали су незаменљиве кључне компоненте због своје отпорности на корозију и високе топлотне проводљивости. Међутим, индустријске болне тачке изложене током њихове обраде дуго су мучиле компаније за прецизну производњу.
Типичан случај обраде
Пројекат за прераду стезне главе носача плочице од силицијум карбида који је предузела одређена компанија захтева завршетак брушења структуре шупљина и жлебова радних комада Д380к5мм. Тврдоћа овог материјала достиже ХВ2,002, што је близу 1/3 тврдоће природног дијаманта. Чести проблеми са урушавањем ивица током обраде резултирали су брзином пролазности мањом од 60%, а традиционални алати су одбачени за 159 минута, а обрада једног комада је трајала до 888 минута.
Болне тачке у индустријској преради
СиЦ материјали се суочавају са три главна изазова у традиционалној преради због своје високе тврдоће и кртости:
Стопа ломљења ивица радног предмета је преко 35%
Стопа хабања алата је 3-5 пута већа од оне код конвенционалних материјала
Тачност контроле храпавости површине од ±0,5 μм је тешко одржавати стабилно
БИСХЕНрешења иновацијска пракса
Као одговор на посебне потребе обраде силицијум карбида, технички тим БИСХЕН-а имплементирао је тро-иновацију процеса:
• Увођење система за обраду ултразвучних вибрација од 20 кХз
• Прилагођавање интегралног ПЦД микро-глодала (угао Р ивице 0,02 мм)
• Развијање адаптивног динамичког алгоритма за подешавање параметара сечења
Резултати надоградње процеса
Подаци о производњи након трансформације опреме показују:
1. Стопа чиповања је пала на мање од 8%
2. Време обраде једног комада је оптимизовано на 462 минута
3. Век трајања алата је премашио 317 минута
4. Површинска храпавост се стабилно контролише на Ра0.4μм
