Позадина случаја: „Проблем са хиљаду{0}}рупа“ у производњи чипова
У области обраде полупроводничких чипова, кварцно стакло се широко користи у производњи дискова за распршивање у процесу јеткања због своје високе чистоће, отпорности на високе температуре и хемијске стабилности. Захтеви за обраду водећих произвођача опреме за чипове за кварцне дискове су веома репрезентативни:
Материјал: кварцно стакло (тврдоћа ХВ700)
Основне карактеристике: пречник 0,5 мм, микро-отворе дубине 5 мм (однос дубине-према-пречника 10:1), 4.996 рупа треба равномерно да се обради на диску пречника 280 мм
Захтеви за прецизност: Заобљеност рупе Мања или једнака ±5μм, грешка положаја<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Произвођач је првобитно користио традиционалну технологију бушења, али се суочио са два фатална проблема:
Уско грло ефикасности: Обрада једне рупе траје 270 секунди, а обрада једног диска захтева непрекидан рад током 34 дана;
Принос ван контроле: Урушавање ивице рупе достиже 0,4 мм, што доводи до тога да више од 30% радних комада буде напукло и отпало због концентрације напрезања.
БИСХЕН решења: Ултразвучна технологија подрива традиционалне занате
С обзиром на крхке и тврде карактеристике кварцног стакла, БИСХЕН Р&Д тим је предложио ултразвучни систем прецизног гравирања и глодања, који је пробио три техничке иновације:
① Високо-технологија ултразвучног смањења вибрација
Ултразвучна вибрација од 20 кХз скраћује време контакта између бургије и материјала на микросекунде, смањује силу сечења за 65% и потискује колапс ивице из корена.
② Интегрално прилагођавање ПЦД бушилице
Бушилица је направљена од дијамантског композитног лима (ПЦД) у једном комаду, са прецизношћу лука резне ивице од ±2 μм и системом аксијалног корекције од 0,01 степена како би се осигурала равност рупа дубоких 5 мм.
③ Алат за позиционирање вакуумске адсорпције
Ваздушна плутајућа платформа са независном контролом вишеструких области стабилизује грешку равности кварцног диска од 280 мм унутар 0,005 мм, елиминишући одступање позиције бушења.
Поређење података обраде: двоструки скок у ефикасности и тачности
Решење су верификовали купци у масовној производњи три узастопна месеца, а принос плоче за прскање порастао је са 67% на 98%, штедећи произвођачима више од 8 милиона јуана у трошковима губитка кварцног материјала сваке године.
Инспирација индустрије: техничка прекретница прецизне обраде
Обрада микро-отвора од кварцног стакла је некада била „уско грло“ веза које је ограничавало надоградњу опреме за чипове. Кроз инжињерску примену ултразвучне технологије, БИСХЕН не само да је решио проблем микро-обраде рупа са односом дубине-према-пречника 10:1, већ је и верификовао нову парадигму за прецизну обраду крхких и тврдих материјала - Замењујући тврдоћу алата са високим степеном вибрације цонтрол, који има универзалну вредност за ултра-прецизну машинску обраду у индустријама као што су керамика и оптичко стакло.
О Бисхен Прецисион
БисхенПрецисион се фокусира на високо{0}}производњу металних делова. Ослањајући се на модерну производну базу од 7.500 квадратних метара, пружа-решења на једном месту за сложене структурне делове у областима ваздухопловства, медицинске машинерије и роботике. Компанија узима „екстремну прецизност и поуздану испоруку“ као своју основну конкурентност и има могућност да пружи потпуне-услуге процеса од модификације материјала, обраде више{7}}осиних веза до микронског-испитивања. Поседује ИСО 13485 систем управљања квалитетом медицинских уређаја, АС9100 сертификат за ваздухопловство и друге квалификације и испоручио је више од 200.000 кључних делова укупно, помажући купцима да пробију границе прецизне производње.
