У области производње опреме за полуводичке опреме, полисилицонске врата су кључне компоненте у процесу производње чипова. Приликом промовисања локализације основних компоненти, домаћи произвођач опреме за полуводиче наишао је на тежак проблем прецизног прецизног унутрашњег брусног брусног и утора за прецизну прецизност на полисиликонским прстенима са полисиликоном пречника од 450 мм и дебљине 45 мм, а традиционалне процесе и традиционалне процесе и традиционалне процесе и традиционалне процесе и традиционалне процесе и традиционалне процесе и традиционалне процесе.
Обрада позадине и болне боли у индустрији
А. Позадина обраде
Због својих одличних својстава полуводича, полисилитон се широко користи у капијским структуралним деловима опреме, као што су ИОН имплантације и Етцхерс. Такве компоненте треба да уклоне више од 7 0% материјала кроз вишеструко млевење процеса, истовремено је или једнако је мање од или једнака 0. 005мм, а толеранција ширине утора је ± 0,01 мм, што поставља строге захтеве за стабилност алата за прераду.
Б. Дилема традиционалне обраде
1. Традиционалне машине за брушење имају ниску ефикасност прераде, а један комад траје више од 8 сати
2 Стопа за одјеку током обраде утора је чак 35%, што резултира пакетом
3. Унутрашњи круг округле одступање је> 0. 015мм, што утиче на униформност опреме за дистрибуцију плазме
Бисхен решења: Ултразвучна технологија + брзе операционе оператоРативне операције
С обзиром на карактеристике прераде полисиликонских чврстих и ломљивих материјала, бисхен технички тим прилагодио решење од три у једном:
1. Ултразвучни прецизни систем гравирања и глодалица: 20КХз Вибрација високог фреквенције смањује отпорност на сечење за 50%
2. ДДР вертикална грамота велике брзине: 3000рпм ± 1 "прецизност, постизање контроле трошкова нано нано
3. Решење алата за градијентно састав:
Дијамантни алати се користе за брзо уклањање материјала током грубе обраде
Ултразвучни ПЦД алати су пребачени на фину обраду
Измерјени подаци освежавају референтну вредност индустрије
У верификацији линије за производњу купца, постигнуто је бисхен решење:
Ефикасност обраде повећана је за 2,8 пута, а време обраде једног комада је компримовано на 2,8 сати
Стопа за одсецање утора смањена је са 35% на 0. 5% или мање
Унутрашњи круг круга стабилно је контролисан 0. 003-0. 005мм
Површинска храпавост РА мања или једнака 0. 4μм, што је боље од нивоа обраде увезене опреме
Овај пробој је повећао карту за квалификацију масовне производње купаца полисилизонских врата прстенова са 61% на 98,7%, успешно замењујући увезене делове.
О томеБисхен
БисхенБио је дубоко укључен у област прецизне производње дуже од десет година, фокусирајући се на решавање проблема са обрадом "заглављеног врата" у полуводичкој, фотонапонским и другим индустријама. 7.500 квадратних метара Компаније Смарт Фацтори опремљена је основним технолошким модулима као што су ултразвучна помоћна обрада и повезаност са пет осовина. Добио је решења за прераду кључних делова за више од 20 домаћих произвођача полуводичке опреме. Релевантне технологије проследиле су посебну сертификацију ИСО9001 и полуводичка опрема и наставе да помажу у процесу независности врхунске производне опреме.
