У свету производње полупроводничке опреме,квалитет површине није само естетика-већ је и функција, дуговечност и прецизност. Компоненте као што су стезне главе, носачи за сочива и прецизне вођице морају испуњавати не само толеранције димензија, већ иекстремни захтеви за завршну обраду површине, често исподРа 0,1 μм.
Зашто је важна завршна обрада површине{0}}нанометарског нивоа
Полупроводничка опрема{0}}високих перформанси се у великој мери ослања на тачност контакта и компатибилност чистих просторија. Храпавост површине која прелази нанометарски праг може:
Ометатитачност постављања плочице
Повећатитрења и хабањатоком кретања
Узрокрасејање оптичког сигнала, утичући на фотолитографију
Креирајзамке честица, повећавајући ризик од контаминације
На пример, апрстен за подршку стадијума плочицеса храпавошћу површине изнад спецификације може да изазове микро-вибрације, смањујући прецизност позиционирања и смањујући учинак.
Изазов ЦНЦ обраде
Постизање завршне обраде површине Ра мањег од или једнаког 0,1 μм далеко превазилази стандардне ЦНЦ процесе. Традиционални алати и параметри често остављају иза себе микро-огреботине, трагове машинске обраде или заостало напрезање-што је све неприхватљиво у полупроводничким окружењима.
Наш приступ нанометарском{0}}нивоу квалитета
АтБИСХЕН Прецисион, развили смо токове машинске обраде посебно за површинске{0}}осетљиве апликације:
Употреба одултра{0}}алати од карбида са финим зрномса прилагођеним геометријама
Полирање пролазиинтегрисани у финалне путање алата
Системи за контролу расхладне течностида бисте избегли микросузе-индуковане топлотом
Координација саЦММ и интерферометри белог{0}}светлада потврди храпавост
Сваки део се подвргава више-инспекцијама не само за толеранције димензија, већ и засуб{0}}микронска конзистенција површинепреко свих контактних равни.
Право кућиште: огледало{0}}завршене потпорне плоче
Клијент је захтевао алуминијумске плочице са бољом површином одРа 0,05 μм, уједначен по целом држачу. Користећи оптимизоване-технике завршне обраде велике брзине и прилагођене стратегије полирања, испоручили смо компоненте које су премашују спецификације-спремне за ЕУВ-састављање на нивоу чисте просторије.
Не дозволите да завршна обрада поткопа ваш систем
Несавршеност површине на наноскали може тихо да угрози ваше најпрецизније механизме. Ако ваша апликација захтевазавршне обраде оптичког{0}}врсте, илисупериорне перформансе трења, разговарајте са нама. Помоћи ћемо вам да осигурамо да ваши делови испуњавају обатолеранцијаитекстура.
